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    高純氣體管道配管技術及常見氣體種類介紹

    2022-01-20

    什么是高純氣體管道配管技術?所謂的高純氣體配管技術,是包括高純供氣系統的正確設計、閥門管件及附件的合理選擇、管道施工、安裝試驗和測試等;是高純氣體供應系統的重要組成部分;是保證高純氣體安全穩定地輸送到用氣點,且符合設備使用要求的關鍵技術。


    高純氣體


    高純氣體管道系統工程有著能保證氣體的純度、保證標準氣體流量、壓力穩定和量值傳遞不發生變化等特點,廣泛應用于半導體、集成電路、光電、汽車、新能源、納米、光纖、微電子、石油化工、生物醫藥、各種實驗室、科研研究所、標準測試等高科技行業。


    常見氣體種類:

    在電子工業中普通氣體,也稱大宗氣體(Bulkgas):氫氣(H2)、氮氣(N2)、氧氣(O2)、氮氣(A2)等;除普通氣體外,電子工業還會用到大量的高純特種氣體(Specialty gas ),如:SiIH4、PH3、B2H6、CL、HCL、CF4、POCL3、BCL3、SIF4、CLF3、C2F6、N2O等等。這些特殊氣體根據氣體性質,類別通??煞譃楦g性、毒性、易燃性、助燃性、惰性等。


    常用半導體氣體分類如下:


    (一)腐蝕性/毒性: HI、BF3、WF6、HBr、SiH2C2、NH3、PH3、C12、BCI3等


    (二)可燃性: CH4、SiH4、PH3、AsH3、SIH2CI2、B2H6、CH2F2、CH3F、CO等


    (三)助燃性: O2、C12、N2O、W3等


    (四)惰性: CF4、C2F6、C4F8、SF6、CO2、Ne、Kr、He等


    半導體行業中使用的電子特種氣體,很多都是對人體有害的。比如,半導體制程工藝Z常見的特種氣體:硅烷(SiH4)就具有自燃特性,一旦發生泄漏,它們就會與空氣中的氧氣劇烈反應并開始燃燒。再比如磷烷(PH3)和坤烷(AsH3)也具有劇毒性,任何輕微的泄漏都可能對人們的生命造成傷害。正是由于這些明顯的危險,所以對于高純氣體供應系統設計的安全性要求特別高。


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