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    高純氣體管道工程系統應用領域與測試

    2022-04-02

    高純氣體管道工程系統應用領域。


    該項目涵蓋半導體、集成電路、平板顯示器、光電、汽車、新能源、納米、光纖、微電子、石化、生物醫、各種實驗室、研究所、標準測試等高科技產業。


    氣體管道的五項試驗是QC中Z重要的部分。這五項試驗包括:保壓試驗、氦泄漏試驗(氦檢測)、水試驗、氧試驗和顆粒試驗,確保氣體管道系統質量達到一定水平,滿足客戶需求。我們今天需要了解的是氦質譜泄漏檢測的步驟和氦泄漏檢測方法。


    一、測試前準備。


    1.系統成功通過保壓檢漏。


    2.確認系統的所有部件都能承受真空而不損壞。


    3.首先檢測閥組及連接管的泄漏率。


    4.氦質譜檢漏儀與系統管道連接前,應釋放被測系統中的氣體。


    5.慢慢打開測漏儀入口處的閥門,將測漏儀與管道系統隔離閥之間的管道抽真空,直至測漏儀顯示的背景漏率低于1×10-9mbar.l/s。


    6.對連接管道上的所有焊道和機械連接處進行氦氣噴吹。


    高純氣體


    二、測試方法。


    1.確認系統中的所有閥門和調壓閥都是。


    2.確認系統中的壓力為0,如果系統中有正壓,先將系統中的氣體排出。


    3.慢慢打開泄漏檢測儀入口處的閥門,開始將系統抽入真空狀態。遵循泄漏檢測儀的操作說明,直至達到可檢測狀態。


    4.記錄檢漏儀背景氦泄漏率,改背景氦泄漏率低于1×10-9mbar.l/s后方可進行噴吹工作。


    5.從Z靠近泄漏檢測儀的焊接通道或連接處開始檢測,用噴槍將氦氣噴到焊接通道或連接處,使氦氣在焊接通道或連接處停留一段時間。確認無泄漏后,檢測下一個焊接通道或連接處,直到Z后一個焊接通道或連接處。


    6.如發現泄漏檢測儀指示值上升,在泄漏檢測儀讀取值恢復正常后,重新檢測焊接通道或連接,確認是否真的泄漏。如果焊接通道或連接處沒有泄漏,應依次檢測焊接通道或連接處前的焊接通道或連接處,直至發現泄漏點。


    7.直到檢測到所有接頭,合格接頭應貼上合格標志。所有接頭噴氦后,繼續觀察泄漏檢測儀讀數約10分鐘,確認讀書無異常后將系統與儀器分離。


    8.如果每個接頭的氦泄漏率低于1×10-9mbar.l/s,則系統的泄漏率符合要求。測試人員可以在測試報告中記錄測試結果。


    9.將檢漏儀與系統分開。

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