高純氣體管道工程系統應用領域與測試

高純氣體管道工程系統應用領域。

該項目涵蓋半導體、集成電路、平板顯示器、光電、汽車、新能源、納米、光纖、微電子、石化、生物醫、各種實驗室、研究所、標準測試等高科技產業。

氣體管道的五項試驗是QC中Z重要的部分。這五項試驗包括：保壓試驗、氦泄漏試驗（氦檢測）、水試驗、氧試驗和顆粒試驗，確保氣體管道系統質量達到一定水平，滿足客戶需求。我們今天需要了解的是氦質譜泄漏檢測的步驟和氦泄漏檢測方法。

一、測試前準備。

1.系統成功通過保壓檢漏。

2.確認系統的所有部件都能承受真空而不損壞。

3.首先檢測閥組及連接管的泄漏率。

4.氦質譜檢漏儀與系統管道連接前，應釋放被測系統中的氣體。

5.慢慢打開測漏儀入口處的閥門，將測漏儀與管道系統隔離閥之間的管道抽真空，直至測漏儀顯示的背景漏率低于1×10-9mbar.l/s。

6.對連接管道上的所有焊道和機械連接處進行氦氣噴吹。

二、測試方法。

1.確認系統中的所有閥門和調壓閥都是。

2.確認系統中的壓力為0，如果系統中有正壓，先將系統中的氣體排出。

3.慢慢打開泄漏檢測儀入口處的閥門，開始將系統抽入真空狀態。遵循泄漏檢測儀的操作說明，直至達到可檢測狀態。

4.記錄檢漏儀背景氦泄漏率，改背景氦泄漏率低于1×10-9mbar.l/s后方可進行噴吹工作。

5.從Z靠近泄漏檢測儀的焊接通道或連接處開始檢測，用噴槍將氦氣噴到焊接通道或連接處，使氦氣在焊接通道或連接處停留一段時間。確認無泄漏后，檢測下一個焊接通道或連接處，直到Z后一個焊接通道或連接處。

6.如發現泄漏檢測儀指示值上升，在泄漏檢測儀讀取值恢復正常后，重新檢測焊接通道或連接，確認是否真的泄漏。如果焊接通道或連接處沒有泄漏，應依次檢測焊接通道或連接處前的焊接通道或連接處，直至發現泄漏點。

7.直到檢測到所有接頭，合格接頭應貼上合格標志。所有接頭噴氦后，繼續觀察泄漏檢測儀讀數約10分鐘，確認讀書無異常后將系統與儀器分離。

8.如果每個接頭的氦泄漏率低于1×10-9mbar.l/s，則系統的泄漏率符合要求。測試人員可以在測試報告中記錄測試結果。

9.將檢漏儀與系統分開。